生产线中的 MicroLED 晶圆测试
2020/02/13
在 μLED 生产的早期阶段就实施光学质量测试，可有效降低下游制程链的次品剔除率，从而提高 μLED 生产经济性。此措举需要能够在生产速度下提供可靠及精确结果的高效检测设备。为此，Instrument Systems 提供了基于摄像机的独特测量解决方案，可在指定节拍时间 (TT) 内快速产生二维及像素级的精确光学分析。
LumiTop 4000 为广受业界应用的 LumiTop 2700 的再升级开发，是具备 12 MP 分辨率的显示屏测试系统。它可以检测更小的样品缺陷和不均匀性。与 100 毫米微距镜头结合使用时，更可对晶片上的 μLED 进行快速并行分析。其硬件触发器实现了时间优化的仪器控制，并同步化测量和数据处理。独特的 LumiTop 测量原理保证了最高的色彩精度，适用于测量光谱窄带 μLED。即使在生产批次中存在明显的光谱波动时，也可以进行精确的色彩校准 LED 测量。全电子高亮度模式扩展了动态范围，特别适合测量可通过滤光片调整以达到最高亮度的调制显示器及光源。