MicroLED-Wafertesting in Produktions-Geschwindigkeit

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14.02.2020

Ein früher optischer Qualitätstest der μLED-Wafer vermeidet Ausschuss in der nachgelagerten Prozesskette und erhöht die Wirtschaftlichkeit der μLED-Produktion. Hierfür sind Messgeräte notwendig, die zuverlässige Ergebnisse in Produktionsgeschwindigkeit liefern können. Instrument Systems bietet hierfür eine einzigartige kamerabasierte Messlösung an, die 2-dimensional, pixelgenau und innerhalb vorgegebener Taktzeiten optische Analysen erstellt. Die LumiTop 4000 ist eine Weiterentwicklung der bewährten LumiTop 2700 mit einer 12 MP Auflösung. Sie detektiert noch kleinere Defekte und Inhomogenitäten und erlaubt in Kombination mit einem 100 mm Makro-Objektiv die schnelle parallele Analyse der μLEDs eines Wafers. Über einen Hardware-Trigger lassen sich Messabläufe zeitoptimiert steuern und synchronisieren. Das einzigartige LumiTop-Prinzip liefert gerade auch für spektral schmalbandige Testobjekte eine hohe Farbgenauigkeit. Es macht farbkalibrierte LED-Messungen auch bei vergleichsweise starken spektralen Schwankungen der Produktionschargen möglich. Im vollelektronischen High-Luminance-Mode steht ein erweiterter Dynamikbereich für modulierte Displays und Lichtquellen zur Verfügung, der zusätzlich durch optische Filter für höchste Leuchtdichten angepasst werden kann.

LumiTop 4000