用于 MicroLED 显示与晶圆测试的光学测量方法
2025/10/16
MicroLED 的量产对测试速度与测量准确性提出了更高要求。
本文由 Tobias Steinel 博士介绍了一种新的光学测量方案，将高分辨率相机系统与实时光谱校正功能相结合，实现了单发光单元级的光谱测量，并在保持测量准确性的同时显著缩短了测试时间。
传统的积分球 LIV 测试在量产应用中效率较低。相比之下，LumiTop 系统在每次成像时都会进行实时光谱校正，自动补偿由于工艺偏差或驱动条件导致的波长变化。在一块含有约 1700 万个 µLED 的 6 英寸晶圆上，完整测试约耗时 5 分钟，结果与光谱仪单独测量的色度值保持良好一致。
系统中采用的 单像素/发光单元评估（SPE）算法 可输出每个发光单元的主波长、亮度及色度数据；新设计的 阶跃式核滤波算法 能在较低的过采样比（Rs = 2–5）下有效减少采样伪影，提升空间测量一致性而无需延长测试时间。
这种将相机与光谱仪结合的测量方法可实现可追溯、快速且准确的晶圆与显示测试，在测试速度与光谱测量质量之间取得良好平衡。该方案有助于 提升良率控制、均匀性校正 及 生产环节的稳定性，为 MicroLED 显示器的量产提供了可靠的测量支持。