MicroLEDs 晶圆和模块中 μLED 的光学测试

几秒内高效、同时测试晶圆或模块中的数千个 μLED

MicroLED 以其精确的新型显示技术而闻名。 它们小于 100 微米,具有卓越的光学特性,能够制造出具有宽色域、高对比度和极高分辨率的显示器。 新的自适应前照灯系统 (AFS) 也使用具有数万个独立光源的 MicroLED 阵列。 使得它可以精确控制光束,因为每个 MicroLED 都可以单独控制。

MicroLED 过程检测中的挑战

µLED 圆和显示器探测

特别是在生产中,晶圆或显示器上数以百万计的 μLED 对晶圆或显示器级的光学质量测试提出了新的挑战:

  • 在晶圆级并行测试数千或数百万个 μLED
  • 对尽可能多的 μLED 进行同步电探测或光激发
  • 对每个 LED 或像素进行快速准确的光学检测,与生产流程同步
    • 颜色和亮度均匀性
    • 主波长和峰值波长
    • 空间分辨率
  • 相机系统经过校准,完全可追溯至国家实验室
    • 光谱变化光源的自适应校准

用于汽车自适应前照明系统的 µLED 阵列

超亮高性能 LED 模块可能具有挑战性:

  • 底层半导体和荧光粉的不同光谱特性
  • 与光源驱动器的时间同步
  • 空间分辨率
  • 串扰 

我们的解决方案:基于相机的 LumiTop 2D 系统

借助基于相机的 LumiTop 4000 和 LumiTop X150 2D 系统,Instrument Systems 可以对不同的 μLED 阵列和显示探头进行快速、高度准确和可追溯的光学测量。 我们的高精度 CAS 140D 光谱仪与不同的 LumiTop 相机相结合,可以根据被测设备的光谱特性进行实时自适应校准。

此外,与 μLED 的电流源同步的测量保证了速度和高再生性。与单独测量晶圆上的每个 LED 相比,能同时测量的 LumiTop 系统的速度快了几个数量级,并且仍然为每个单独的发射器提供空间和光谱信息。 Instrument Systems 是一家通过 ISO 17025 认证的测试实验室,保证测量值的可追溯性和已知的准确性。

LumiTop 4000 的分辨率为 12 MP,可以检测到最小的缺陷和不均匀性。 借助 100 毫米微距镜头,该相机可在单个测试站对晶圆上的所有 μLED 进行快速并行在线分析。 具有尺寸约为10 x 14 毫米的视场角 (FOV),可以并行测量数千个最小像素尺寸低至 30 微米的 μLED。

LumiTop X150 配备一个 150 MP 传感器,通过可选的像素移位最高可达 600 MP。 各种镜头选项适用于从微型显示器和晶圆到大型视频墙的被测装置 (DUT)。 借助 LumiTop X150,甚至可以进行一次性晶圆测试。 两种 LumiTop 系统都允许定制校准选项,以专门针对 µLED 应用优化精度。

我们很乐意为您提供规划建议,以达到理想的测量配置。

 

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