ウェーハやモジュール上の数千のマイクロLEDを数秒で効率的に同時にテスト
マイクロLEDは、厳密な新しいディスプレイ技術として知られています。100マイクロメートル未満のサイズで、広色域、高コントラスト、極めて高い解像度を持つディスプレイの製造を可能にする優れた光学特性を備えています。また、自動車用の新しい適応型フロントライティングシステム（AFS）には、数万個の個別の光源を持つマイクロLEDアレイが使用されています。これにより、各マイクロLEDを個別に制御することで、光束を正確に制御できます。
マイクロLEDの製造工程における検査の課題
マイクロLEDウエハー＆ディスプレイのプローブ
特に生産において、ウエハーまたはディスプレイに数百万のμLEDが存在する場合、光学品質テストに新たな課題が生じます。
- 数千または数百万のμLEDの並列テスト
- ウエハー上のできるだけ多くのμLEDを同時に電気プローブまたは光学励起する
- すべてのLEDまたはピクセルに対する高速かつ正確な光学検査を、生産フローに同期させる
- 色と輝度の均一性
- 主波長とピーク波長
- 空間分解能
- ナショナルラボに完全なトレーサビリティを持つカメラシステムのキャリブレーション
- スペクトル的に異なる光源に対する適応型キャリブレーション
自動適応型フロントライトシステム用µLEDアレイ
超高輝度の高性能LEDモジュールは課題があります:
- 基盤となる半導体と蛍光体のスペクトル特性のバリアント
- 光源ドライバへの時間的同期
- 空間分解能
- クロストーク(Cross talk)
当社のソリューション：カメラベースのLumiTop 2Dシステム
カメラベースのLumiTop 4000およびLumiTop X150 2Dシステムを使用することで、Instrument Systemsは異なるµLEDアレイやディスプレイプローブの光学的測定を迅速かつ高精度かつ追跡可能な方法で提供しています。高精度のCAS 140D分光放射計とさまざまなLumiTopカメラの組み合わせにより、テスト対象デバイスのスペクトル特性に基づくリアルタイム適応型キャリブレーションが可能になります。
また、測定はµLEDの現在の電源と同期させることができ、速度と高い再現性を実現できます。ウエハーの各LEDを個別に測定するのと比較して、同時に測定するLumiTopシステムは数桁以上高速であり、それでもすべての個々のエミッタに対して空間的およびスペクトル情報を提供します。Instrument Systemsは、ISO 17025に認定されたテストラボラトリーであり、追跡可能な測定値と既知の精度を保証しています。
LumiTop 4000 は12 MPの解像度を持ち、最小の欠陥や均一性を検出できます。100mmのマクロレンズを使用することで、カメラは単一のテストステーションでウエハー上のすべてのµLEDを高速に並列インライン分析することができます。約10x14mmの視野（FOV）を持ち、最小ピクセルサイズが30マイクロメートル以下であり、数千のµLEDを並列測定できます。
LumiTop X150 は150 MPのセンサーを搭載し、オプションのピクセルシフトにより最大600 MPまで拡張できます。さまざまなレンズオプションがマイクロディスプレイやウエハーから大型ビデオウォールに至るまでのテスト対象デバイスに適応します。LumiTop X150を使用すると、ワンショットのウエハーテストが可能になります。
弊社では、お客様の計画に合わせて最適な計測コンセプトを構築するためのアドバイスを提供させていただきます。
お客様独自の課題は何でしょうか？私たちと一緒に適切な解決策を見つけましょう。お気軽にお問い合わせください。
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