VCSEL近场测量系统 灵活、精确的单发射器量测

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用红外相机对VCSEL阵列进行表征

VTC 4000实验室量测系统是专门为近场表征无衍射光学元件(DOE)的VCSEL阵列而开发的。此系统结合了高精度的VTC 4000红外相机,以及灵活的DUT三维平移定位装置,能够一次分析单发射器的所有相关参数。

VTC 4000的系统设计基于创新的校准技术,能修正单发射器功率的偏振依赖性,从而实现特别高的测量精度。只需在相机视场内进行一次测量,即可确定发射器的功率和偏振特性。此外,若通过光纤连接CAS系列高分辨率光谱仪(如CAS 140CT-HR),还可进一步分析单发射器的光谱特性。

关键特性:

  • 使用VTC 4000进行精确快速的测量
  • 表征阵列内所有单个发射器的功率、偏振、发散特性以及M²值
  • 量测空间辐射特性,以表征辐射束腰(emission waist)
  • XYZ平移装置扩展了相机的视场
  • 可选配光纤连接及光谱仪,用于测量波长

测量挑战

VCSEL测量系统需能检测多样参数,并需满足工业标准的严格规范。

通过经校准的高精度测试系统测量,能维持低误差预算 (minimum absolute error budget),使得VCSEL的性能效率得到充分的发挥,同时又能安全运行。此测试系统采用模块化设计,可根据客户要求定制。

VTC 4000是高精度的测量相机,也适用于生产线上的快速循环时间。

对于VCSEL的光谱测量,我们提供CAS-HR系列的分光辐射仪,可以实现高达0.09纳米的光谱分辨率。

系统配置

用于表征近场VCSELs的实验室测量站通常包含以下部件:

部件 描述

相机

用于VCSEL近场表征的红外相机VTC 4000,分辨率为1200万像素,视场为1.4 mm x 1.0 mm。可选择带光纤输出型号,用于连接高分辨率光谱仪

光谱辐射仪

高分辨率CAS 140CT-HR的光谱分辨率高达0.2nm,是一个高端的测量解决方案,带有冷却的CCD检测器,具有高稳定性,可作为参考系统。高分辨率的CAS 120B-HR,光谱分辨率高达0.1x nm,兼具高性能及高性价比的优势。

3轴平移装置

XYZ定位系统用于扩展测量范围

校准

在910-980纳米范围内,可对德国/美国国家标准如PTB和NIST进行可追溯的校准

软件

LumiSuite的SDK,可以轻松整合到定制的生产流程中。

客制化系统配置

我们的系统专家将很乐意为您的特殊应用提供实用建议,请联系我们!