MicroLEDマイクロディスプレイの光学測定技術

MicroLEDやマイクロディスプレイの小型化と高画素化が進む中、光学測定には高い空間分解能と十分な視野（FoV）の両立が求められます。本講演では、カメラベースの測定ソリューションを紹介するとともに、代表的なカメラとレンズの組み合わせについて、用途ごとの性能を比較します。また、カメラの色校正とISO 17025トレーサブルな基準分光放射計による絶対校正を組み合わせたハイブリッド校正手法を紹介し、高精度な輝度・色度測定を実現する方法を解説します。さらに、得られた三刺激値を用いて、画像全体に輝度・色度校正を適用する手法について説明します。最後に、狭帯域MicroLEDでは従来の三刺激値フィルタ方式色彩計で大きな色度誤差が生じる理由と、その対策について紹介します。