パラメータ | DMS 803の特性 |
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θ傾斜角 | 0°から 90°まで |
Φ 回転角 | 0°から 360 °まで |
反射式照射角 | 0°から 90°まで |
最小ステップ θ / Φ / Refl.イルミネーション | 0,01° |
X/Yトランジション | ±50 mm |
Zの変遷 | 250 mm |
最小ステップ X/Y/Z | 0,01 mm |
混乱の範囲(全軸) | 100 µm |
最大対角線 | 600 mm / 23 インチ |
モーターライズドX-Yスキャンの最大対角線 | 459 mm / 18 インチ |
最大厚さ | 250 mm |
指定された値が決定された詳細な測定条件は、データシートやパンフレットで調べるか、Instrument Systemsに請求することができます。 |