VCSEL生産テスト

VCSELのパルス発光に対する特性評価

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VCSELのインプロセス検査のための確かな測定システム

レーザーダイオード/VCSELのインプロセス検査では、測定システムを選択する際に高いレベルの精度と安定性が求められます。光学特性や時間的なパルス性能を信頼性高く正確に測定することは、製造工程におけるレーザーダイオードの特性評価や選別を再現するための必須条件です。

分光器CASシリーズの高解像度版をベースに、VCSELラボ測定ステーション に加え、ナノ秒パルスの時間分解測定に特化した測定システムを備えたPVT 200等、生産におけるVCSEL特性評価に最適化された完全なソリューションを提供しています。

Instrument Systems社の測定ソリューションのモジュラー設定と、CAS-HRシリーズ(CAS 140CT-HR、CAS120-HR)の優れたスペクトル分解能により、幅広いアプリケーションが可能になります。PTBトレーサブルで絶対値が校正されたフォトダイオードを用いて放射束を出力しますが、これは測定精度にとって非常に重要なことです。

さらに、リニア型の高速フォトダイオードを組み込むことで、単一のパルスまたはパルス列を測定することができます。合わせてギガヘルツ領域で動作するドライバーと高速読み出し回路がそれを実現しています。

主な特長:

  • パルスレーザダイオード/VCSEL専用のフォトダイオードアレイ型分光器
  • 0.12 nmまでの高いスペクトル分解能
  • 生産現場や研究室における信頼性とコスト効率の高いソリューション
  • 校正フォトダイオードを用いたパフォーマンス測定(オプション)
  • 1 ナノ秒の極めて短いパルスの測定 (オプション)

要求事項

製造現場では、短いサイクルタイムで高いスループット率(UPH)を維持することが最も重要です。レーザーダイオードは、一般的に非常に狭いスペクトル範囲で高い出力を持ち、短い積分時間で検出器を十分に変調することができます。そのため、高スループットでサイクル精度の高い測定値を得るためには、可能な限り短い測定時間を持つ測定システムが必要となります。

また、10A以上の電流で短パルスを発生させ、数ギガヘルツのサンプリングレートで測定データを取得する必要があるため、特に短パルスや高周波パルスの特性評価には高度なエレクトロニクスが必要となります。

システム構成

生産中のレーザーダイオード/VCSELの放射束を高速かつ正確に測定するためのInstrument Systems社のオールインワン・システムは、通常、以下のコンポーネントで構成されています。

コンポーネント

説明

アレイ型分光器

高解像度CAS140CT-HR(最大0.2 nmの分光分解能) 冷却型CCD検出器を搭載したハイエンドの測定ソリューションとして、リファレンスシステムなどで最高の安定性を実現します。
CAS140CT-HRに代わる高性能かつ低コストのソリューションとして、最大0.12 nmの分光分解能を持つ高分解能のCAS 120B-HR。

積分球

小型の内径を持つ積分球ISP 75およびISP 100。小型なので特にハンドラーやプローバーシステムへの設置に適しています。
オプション:ISP 100は、分光器やフォトダイオードの接続、レーザーダイオードの出力やパルス波形の測定、パルス幅1nsの超短パルスの検出が可能な可変ポートを備えています(System PVT 200)。
代替品:ISP 150L(内径150 mm、測定ポート直径50 mm)は、大型のレーザーモジュールやアレイに対応し、内蔵の補助光源による自己吸収補正機能を備えています。
キャリブレーション PTBやNISTなどの国家標準にトレーサブルな校正。

エレクトロニクス

大電流(最大15A)の短パルス(1ns以上)を発生させるためのドライバーエレクトロニクス。高速フォトダイオードの信号を検出するためのサンプリング用エレクトロニクス (またはオシロスコープ)

ソフトウェア

CAS.dll と SDK (お客様の生産フローに組み込むための開発キット)

IRリファレンスLED(オプション)

リファレンスLED ACS-570-15, 570-17 (860 nm, 950 nm)。自社製電源PSU10との組み合わせにより、安定性の高いリファレンスシステムを実現しています。

個別の構成

弊社のシステム専門家は、お客様の特定のアプリケーションについて適切なアドバイスを提供します。弊社のグローバルサービス では、迅速なセットアップと、システムのライフタイム全体にわたる完全なサポートを保証します。最適なソリューションを一緒に見つけましょう。

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